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钨坩埚

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坩锅材质选用——Point source不同材料使用坩埚材质参考
坩埚材质 有机材料/金属 坩埚盖
实际应用说明
(以不同的材料特性建议)
 
特质
 
SUS304
有机材料(熔融、升华)
 
蜂巢式+均热板
 
温度400° ~ 450°C
 
1.不易损坏,但容易变形
2.导热性较差(需搭配均热板)
3.坩埚本体与上盖螺旋纹易卡住
 
Ti
 
有机材料(熔融、升华)
 
蜂巢式+均热板
 
温度400° ~ 450°C
1.硬度较佳,且保温效果佳
2.热传导性差,故加热线圈必须与Housing贴合 ,才能达到较佳的控温
石墨
 
有机材料(熔融、升华)、金属
 
小开口搭配大开口
 
温度500° ~ 1200°
 
1.易碎、不易清洗
2.有较佳的热传导,且保温效能较好
3.可耐高温
 
Inconel 625
 
CSF (抗氧化、抗腐蚀性能)
 
  温度300° ~ 700°
1.可抗腐蚀性
2.易变形、但清絜容易
 
Al2O3
 
有机材料(熔融、升华)
 
蜂巢式+均热板 温度300° ~ 700°
1.易变形
2.导热性较佳 ,较适用于熔融材料)
3.材质较软,材料附着后,不易清洁
 
PBN
 
有机材料(熔融、升华)、金属
 
小开口搭配大开口
 
温度500° ~ 1200°
 
1.易碎、不易清洗
2.有较佳的热传导
3.可耐高温
 
 

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